Fertigungsverfahren

Sensorische Materialien können als hochkomplexe Verbundwerkstoffe aufgefasst werden. Sensorisch ausgestattete Strukturen und Bauteile stellen mit zunehmender Granularität der Sensornetzwerke höher integrierte Werkstoffverbunde dar. Die Erstellung der Komponenten wie des Verbundes erfordern angepasste Fertigungsverfahren.
  • Fertigungstechnologien für die Herstellung von Sensoren, u. a.
    • Functional Printing
    • Lithographie
    • PVD- und Sputterverfahren
    • CVD-Verfahren
    • optische Technologien
  • Anpassung konventioneller Fertigungsverfahren an die Erfordernisse der Sensorintegration.
  • Spezielle Verfahren zur Herstellung von Hybridwerkstoffen und -strukturen.
  • Verfahren zur Integration von Informationsverarbeitungs- und Energieversorgungskomponenten.
  • Entwicklung und Verifikation von Prozessfolgen zur Realisierung neuartiger Sensorstrukturen und sensorischer Materialien.
  • Simulation von Fertigungsprozessen.
Das Arbeitsgebiet widmet sich der Entwicklung und Anpassung von Verfahren und Prozessfolgen zur Herstellung fühlender Werkstoffe, Halbzeuge und Bauteile aus den Grundkomponenten sensorisch aktives Material bzw. Sensor und Matrix. Dies schließt Technologien zur Integration mikroelektronischer Komponenten ebenso ein wie die Simulation der Fertigungsprozesse.